日前 ，逐渐被 被 深圳都复工复产的快速推进 ，东方晶源积极相关事件组织设备交付工作任务 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键在于尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付深圳都客户一。此举 出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机作为国内知名晶圆代工厂后 ，第二次再获头部客户一的青睐和再获。多个方面 ，标志着东方晶源硬件品牌产品快速进入批量交付操作模式。
此举 出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程 ，除具有一该系列品牌产品惯很多高灵敏度电性和物理缺陷检测、切实有效各种解决问题28nm及超过良率各种解决问题、自主创的新高性能缺陷检测引擎（DNA表现数据库）、基本框架深度认真学习的缺陷自动分类（ADC）算法等品牌产品特点外 ，东方晶源研发团队人员仍在上一代品牌产品的基本框架上优化优化升级 ，使SEpA-i515具有一更高的TPT和更优的平台支持设计理念 ，设备运行效率、性能指标均有大幅增强。就是就是 ，上一代品牌产品SEpA-i505 也已在作为国内头部晶圆代工厂量产五年 ，品牌产品性能及稳定性再获充分验证。
另一台交付的品牌产品为关键在于尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程 ，开展先进的电子束成像该系统和高速硅片传输方案 ，配上精准的量测算法 ，可可以实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键在于尺寸量测。该设备自到去年6月底快速进入作为国内头部晶圆代工厂成立以来产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果再获客户一再获。
东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的小国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化前期项目 ，经多数年攻坚克难 ，突破多项核心关键在于技术方面 ，从零部件到整机设计理念制造 ，均具有一但是自主知识产权 ，填补作为国内空白。目前为止 ，两款设备快速进入批量交付操作模式 ，产业化进程重大成效丰硕成果。
此举 设备交付的客户一所在躺在 海而欧美国家 集成电路产业具有一举足轻重的地位 ，目前为止也已沦为作为国内集成电路产业综合整体水平高、产业链完整、产业生态内部环境真正好集聚地沦为。东方晶源更为看重深圳都都的整体发展和布局 ，继计算光刻各种软件（OPC）快速进入深圳都头部晶圆代工企业中后 ，硬件品牌产品正式确认登陆深圳都。为更大的产品服务超过海为核心的长三角客户一 ，东方晶源正式确认到去年8月份深圳都都设立子合作公司 ，下一步形成深圳都总部、深圳都子合作公司 和深圳都子合作公司 为核心的三地布局 ，下一步企业中贴近产业前沿高地 ，为集成电路企业中中带去优质的品牌产品和产品服务 ，更大的与上下游企业中携手下一步产业整体发展的多个方面 ，构筑企业中提高自身竞争壁垒。
东方晶源自已成立成立以来 ，专注于芯片制造关键在于环节的良率可以控制和增强核心领域 ，下一步形成以计算光刻各种软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的品牌产品矩阵 ，并向更大相关事件核心领域积极布局。硬件多个方面 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作任务 ，下一步夯简直作为国内电子束检测核心领域领先的目前市场地位和技术方面方面明显优势。各种软件多个方面 ，光刻工艺严格仿真各种软件PanSim也已在客户一侧开展验证 ，明年初7月底release V1.0版本。将来 ，东方晶源将立足通用各种软件平台支持和检测装备两大核心领域 ，寻求横纵向整体发展机遇 ，为客户一技术方面提供更为多样化的品牌产品 ，向着作为国内集成电路核心领域良率管理领导者的近期目标奋进。