东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日  ，由说发达国家集成电路创新加入联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新加速发展交流会”以六大会场加于网连线的多种途径同步隆重举行。腾讯于网集成电路全产业链各环节的优秀中小企业 、高校和科研院所的千余位作为参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海饶宗颐受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新型技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI）  ，得到新型技术创新奖。

　　“IC创新奖”由说发达国家集成电路创新加入联盟主办 ，面向全球集成电路产业链上下游企事业单位确定征集  ，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游首次合作  ，是集成电路产业重要新型技术奖项沦为 ，其余新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和重要新型技术开发其他方面得到重大突破的单位确定和技术团队。据悉摘得行业多重磅赛事的重要奖项 ，多次保持彰显出东方晶源在电子束检测、量测相关领域的新型技术硬实力和行业多的高度保持认可。

　　检测是芯片制造厂商技术水平良率的重要多种方式。电子束检测设备它具超高精度 ，在高端芯片制造变化过程发挥的效用越发大。由于目前  ，该类设备被全球厂商垄断 ，沦为制约发达国家芯片制造自主可控的重要瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，成功后研收到全球首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可人员人员提供的纳米级缺陷检测和分析得出问题解决解决方案。由于由于目前展开发达国家头部芯片制造厂商产线验证  ，验证最后结果结果表明一是指标与全球一线对标机台上述同等技术水平  ，成功后问题解决解决发达国家在电子束检测相关领域的重要新型技术问题解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测相关领域已深耕多年并成功后正式推出多款设备  ，得到重大突破。除据悉获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸重要尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月即将进入产线验证  ，由于目前成功后完成成熟制程量产验证  ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异又各种需求 按照要求  ，性能多次保持改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月即将进入产线验证  ，由于目前早已即将进入客户一产线小规模试产。其余  ，东方晶源还于近期一已发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，由于目前该设备工程机（Alpha机）早已展开首轮wafer demo  ，也可又各种需求 28nm及上述都制程又各种需求  ，Beta机集成部门工作加速推进中 ，已得到客户一订单  ，即将进入产线验证指日可待。

　　沦为几家聚焦集成电路良率管理相关领域  ，以技术水平芯片制造门槛为使命的半导体中小企业 ，东方晶源由于目前 以研发创新为加速发展核心  ，一直在丰富产品一矩阵并技术水平产品一性能  ，填补多项全球空白。在未来  ，东方晶源将多次保持立足一体化各类软件大平台和检测装备两大相关领域  ，以客户一为两个中心 ，以目前市场为导向 ，一直在展开新型技术突破与产品一创新  ，与发达国家集成电路产业上下游中小企业 勠力同心 ，推动发达国家集成电路制造产业多次保持高速加速发展。