东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

前段时间  ，日益深圳都复工复产的快速推进  ，东方晶源积极组织形成设备交付部门工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付深圳都每个客户。此举 出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机欧美小国家知名晶圆代工厂后 ，继续巨大成功 头部每个客户的青睐和巨大成功 。不仅  ，标志着东方晶源硬件品牌产品继续进入批量交付模式一。

此举 出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程 ，除具备该系列品牌产品惯大多高灵敏度电性和物理缺陷检测、最有效其他最终解决28nm及上述良率其他最终解决、自主创新的发展高性能缺陷检测引擎（DNA数据结果库）、原有基础 深度学习增强的缺陷自动分类（ADC）算法等品牌产品特点外 ，东方晶源研发工作团队我还在上一代品牌产品的原有基础 上优化日益升级  ，使SEpA-i515具备更高的TPT和更优的平台发布细节设计 ，设备运行效率、性能指标均有大幅增强。就是就是  ，上一代品牌产品SEpA-i505 然而 在欧美小国家头部晶圆代工厂量产整年  ，品牌产品性能及稳定性巨大成功 充分验证。

另一台交付的品牌产品为最关键尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，使用先进的电子束成像系统实现和高速硅片传输方案  ，完美搭配精准的量测算法 ，可基本实现高重复精度、高分辨率及高产能的最关键尺寸量测。该设备自去去年初 6月底继续进入欧美小国家头部晶圆代工厂创下产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果巨大成功 每个客户巨大成功 。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的小国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化前期项目  ，经一数年攻坚克难  ，突破多项核心最关键其他技术  ，从零部件到整机细节设计制造  ，均具备完完全全自主知识产权 ，填补欧美小国家空白。当前 ，两款设备继续进入批量交付模式一  ，产业化进程巨大成功丰硕成果。

此举 设备交付的每个客户所在趴在海而中国国内国内集成电路产业具备举足轻重的地位  ，当前然而 它成欧美小国家集成电路产业综合综合水平 高、产业链完整、产业生态自然环境最好的集聚地它成。东方晶源愈发看重深圳都都的发展进步和布局  ，继计算光刻工具软件（OPC）继续进入深圳都头部晶圆代工企业强化自身后  ，硬件品牌产品已于登陆深圳都。为以及更多的体验服务上述海为核心的长三角每个客户  ，东方晶源已于去去年初 8月份深圳都都设立公司目前目前  ，难以形成深圳都总部、深圳都公司目前目前和深圳都公司目前目前为核心的三地布局  ，下一步企业强化自身贴近产业前沿高地  ，为集成电路企业强化自身强化自身带去优质的品牌产品和体验服务  ，以及更多的与上下游企业强化自身携手下一步产业发展进步的不仅  ，构筑企业强化自身强化自身竞争壁垒。

东方晶源自挂牌成立 创下  ，专注于芯片制造最关键环节的良率控制中和增强三大领域  ，难以形成以计算光刻工具软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的品牌产品矩阵 ，并向以及更多紧密相关 三大领域 积极布局。硬件诸强化自身 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发部门工作  ，下一步夯真是欧美小国家电子束检测三大领域 领先的市场市场地位和核心其他技术其优势。工具软件诸强化自身 ，光刻工艺严格仿真工具软件PanSim然而 在每个客户侧使用验证 ，预计今年7月底release V1.0版本。因为未来 ，东方晶源将立足通用工具软件平台发布和检测装备两大三大领域 ，寻求横纵向发展进步机遇  ，为每个客户直接提供愈发多样化的品牌产品  ，向着欧美小国家集成电路三大领域 良率管理领导者的既定目标奋进。