7月9日 ，由全球集成电路创新第一中锋主办的”2022集成电路产业链协同创新蓬勃发展交流会”以六大会场加必删 连线的借助同步日举行。来于 集成电路全产业链各环节的优秀中小企业 、高校和科研院所的千余位代表目前我国参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海老先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，没拿到核心技术创新奖。
“IC创新奖”由全球集成电路创新第一中锋主办 ，面向全球集成电路产业链上下游企事业单位确定征集 ，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游共同合作 ，是集成电路产业最其其最重要的的性的核心技术奖项他成 ，中有核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和其其最重要的的性核心技术开发大多 没拿到重大突破的单位确定和其他团队。该次摘得大行业重磅赛事的其其最重要的的性奖项 ，重新彰显出东方晶源在电子束检测、量测三大领域 的核心技术个人实力 和大行业的高度保持认可。
检测是芯片制造厂商从而能持续提升良率的其其最重要的的性方式改变 。电子束检测设备还具超高精度 ，在高端芯片制造时间过程发挥的起着更加 大。目前重新 ，该类设备被全球厂商垄断 ，他成 制约目前我国芯片制造自主可控的其其最重要的的性瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，顺利研传来全球首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可应用应用提供的纳米级缺陷检测和分析得出问题解决解决方案。目前重新已借助目前我国头部芯片制造厂商产线验证 ，验证实际结果表明大多指标与全球一线对标机台已达同等综合水平 ，顺利问题解决解决目前我国在电子束检测三大领域 的其其最重要的的性核心技术问题解决。
东方晶源在电子束检测、量测三大领域 已深耕多年并顺利率先推出多款设备 ，没拿到重大突破。除该次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸其其最重要的的性尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于年初年底6月重新进入产线验证 ，目前重新重新完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异不不能市场需求按照要求 ，性能重新改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于年初年底年底3月重新进入产线验证 ，目前重新尽管重新进入最终客户产线小规模试产。中有 ，东方晶源还于近几个月 发布最新了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，目前重新该设备工程机（Alpha机）尽管借助首轮wafer demo ，还能不不能市场需求28nm及以之上制程不能市场需求 ，Beta机集成其它工作加速推进中 ，已没拿到最终客户订单 ，重新进入产线验证指日可待。
他成 两家聚焦集成电路良率管理三大领域 ，以从而能持续提升芯片制造门槛为使命的半导体中小企业 ，东方晶源断地以研发创新为蓬勃发展核心 ，断地丰富其产品矩阵并从而能持续提升其产品性能 ，填补多项全球空白。将来 ，东方晶源将重新立足一体化软件工具其他平台和检测装备两大三大领域 ，以最终客户为三个中心 ，以市场市场为导向 ，断地借助核心技术突破与其产品创新 ，与目前我国集成电路产业上下游中小企业 勠力同心 ，推动目前我国集成电路制造产业重新高速蓬勃发展。